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全自动传片机

全自动传片机是针对晶圆的全自动倒片、理片机;可从一个Wafer Cassette传递到另外一个Wafer Cassette,通过参数设定可实现Up Ranking、down Ranking及自定义方式传递,采用X、Y、Z  三轴机械走位及陶瓷手柄实现高精度定位,确保产品在传递过程的安全。设备可适用12寸8寸晶圆及各种标准料盒,也可订制非标料盒,设备采用工控机控制,15寸触摸操作人机界面,操作简易方便。

产品详情

技术参数:

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产品特点:

陶瓷Robot取放产品;

X,Y,Z三轴机械手精准定位;

支持各种半导体标准Wafer Cassette,自动Mapping扫描;

工控机控制,运行稳定;

15寸触摸屏显示操作,方便简洁;

参数可自由设定调用;

传片方式有Up Ranking,down Ranking模式也可自定义模式;

固定式或手柄式Bar Code Reader读取料盒条形码;

可配置去离子装置;

可订制Sec Gem功能;

Uph>100片/小时(不含定位功能)。


注:图文数据均以厂家提供为准。