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玻璃基板搬运机器人

可应用于第7代至第9代的大型玻璃基板搬运的机器人。

洁净度为FED10级标准。采用独有的连杆结构,降低了弯曲和振动,并保证了刚度。


产品详情

●应用于第7代~第9代基板的系列产品

适用于包括第7代的SJ80C,以及第8,9代的SJ120C

●级别上限的旋转速度和前后轴速度

在所有尺寸中均缩短了周期

●上下轴采用独有的连杆结构

能够抑制弯曲和振动的高刚度结构

无带式结构,确保高可靠性和安全性

●活动部分的布线全部内置于手臂内

防止发生微米级尘埃,并使外观保持整洁


工作范围

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用途

玻璃基板搬运

(*1) 本产品的额定功率,规格,外部尺寸等如需改良而变更,恕不另行通告。

(*2) 如果本产品的最后使用者与军事相关,或用于兵器等的制造,可能成为“外汇及国际贸易法”规定的出口限制的对象。出口时,请进行充分的审查和办理所需的出口手续。


技术参数:

系列SJ80C
机器人型号SJ80C-18D-01SJ80C-24D-01
清洁度10级(0.3μm)*1
自由度4
驱动方式AC伺服方式





X1前后13,670mm
X2前后23,670mm
θ转动+2.53~3.40rad
(+145°~-195°)
Z上 下1,800mm2,400mm



X1前后13,000mm/sec
X2前后23,000mm/sec
θ转动3.14rad/sec (180°/sec)
Z上 下1,100mm/sec1,450mm/sec
搬运重量每个臂80kg(合计135kg)
位置反复精度±.3mm
周围温度0~35°C
设置条件落地式
主机重量1,175kg1,200kg

*1 指机器人顶端法兰表面
1rad=57.3° 1N=0.102kgf


系列SJ120C
机器人型号SJ120C-28D-01SJ120C-28S-01
清洁度10级(0.3μm)*2
自由度43
驱动方式AC伺服方式





X1前后14,480mm (+2,250~-2,230mm)
X2前后24,480mm 
(+2,250~-2,230mm)
-
θ转动+3.40~-2.53rad
(+195°~-145°)
Z上 下2,800mm



X1前后13,600mm/sec
X2前后23,600mm/sec-
θ转动3.14rad/sec (180°/sec)
Z上 下1,050mm/sec



X1前后1上限90kg上限120kg
X2前后2上限120kg-



X1前后1720N・m780N・m
X2前后2780N・m-





X1前后1135kg・m2165kg・m2
X2前后2165kg・m2-
位置反复精度±.3mm±.3mm
周围温度0~35°C
设置条件落地式
主机重量1,880kg1,680kg

*2 指机器人顶端法兰表面
1rad=57.3° 1N=0.102kgf


注:图文数据均以厂家提供为准。